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EPI石英件清洗机（EPI Quartz Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗EPI工艺专用石英件
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
关键词：
EPI石英件清洗机（EPI Quartz Cleaner）
所属分类：
附属湿法清洗设备
EPI清洗机
产品附件：
咨询热线：
EPI石英件清洗机（EPI Quartz Cleaner）
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