产品中心
Product Center
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PRODUCTS CENTER
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗各种半导体生产制程用零部件、治具
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC
设备特点：
1、支持EAP、FDC、MES等功能
2、PLC+触摸屏控制方式，可预设多条Recipe
3、槽体最大尺寸L 800mm X D 800mm X H 800mm，材质SUS316/PVDF/PP可选
4、喷淋、超声、加热、鼓泡、溢流、吹干等多种工艺可选
5、通过PID控制加热温度
6、具有安全模式，能及时有效的保障人员及设备安全
7、多任务并行处理，有效的提高产能
8、工艺窗口开放，各工艺时间可自由设定
9、设备外形尺寸：L 2500mm X W 1300mm X H 2200mm (双槽)
10、本体材质PP/FM4910认证PVC
卧式石英管舟清洗机（ Horizontal Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
设备特点：
1、机械手臂负载：≤50Kg (机械手臂最大负载：50 kg)
2、清洗对象：
炉管最大尺寸：ø 510mm X L 1520mm
石英舟最大尺寸：ø 345mm X L 1385mm
3、清洗能力：石英管/石英舟 1只/次/腔室
4、设备构成：由卧式酸槽、卧式水槽、机械臂（吊钩）等主要机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、炉管滚动、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸：L 2830mm X W 2540mm X H 3400mm
立式石英管舟清洗机（Vertical Quartz Tube/Boat Cleaner）
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗8寸/12寸等多种尺寸的石英石英舟/石英管
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
设备特点：
1、清洗对象：
石英管及零部件（包括Boat、点火炮、热电偶等）
石英管（石英反应外管/夹层/进气管）最大尺寸：ø 510mm X L 1740mm
零部件最大尺寸：L 1200mm X W 550mm X H 350mm
2、清洗能力：石英管：1只/次/腔室 或 石英部件 ：1批/次/槽
3、设备构成：主要由炉管清洗腔（腔室由旋转平台、喷头）、卧式酸洗槽等机构组成
4、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
5、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
6、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe,操作简洁
7、选配SECS/GEM接口
8、配置Leak Sensor
9、设备外形尺寸： L 2790mm X W 2220mm X H 2930mm
适用场景：用DIW、酸液等药液清洗EPI工艺专用石英件
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
设备特点：
1、机械手臂最大负载：20 kg
2、清洗对象：
不规则石英制品最大外形尺寸： 750mm X W 500mm X H 400mm
3、清洗能力：1篮/次
4、设备构成：机械臂、HN槽、HF槽、QDR槽等机构组成
5、设备安全：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等
6、酸槽主要功能：自动补液（液位传感器控制）、自动槽盖、药液循环过滤、独立取样口
7、工艺过程全自动处理、可预设多条Recipe，操作简洁
8、选配SECS/GEM接口
9、配置Leak Sensor
10、设备外形尺寸： L 2485mm X W 1700mm X H 3500mm
全自动晶圆盒清洗机（Fully Automated FOUP Cleaner）
适用场景：用DIW/有机溶剂（可选）实现FOUP清洁，通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥
设备特点：
1、清洗对象：6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成
3、清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe，操作简洁；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸：L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm
设备特点：
1、清洗对象：6/8/12 半自动FOUP/Cassette/POD
2、设备主要构成：旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统（可选）等机构组成
3、清洗能力：8只FOUP/小时（依配置的清洗腔真空腔数量而定）
4、干进干出
5、人工分离FOUP、POD，人工上下料及更换工装
6、旋转式离心清洗，可正反调速旋转，对于产品表面的附着残留物容易清除
7、工装设有防呆机构，防止人工将清洗件放置错误
8、鼠笼设有旋转到位防呆检测
9、动平衡侦测转篮未定位保护，降低因人为导致设备损坏
10、主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制，主轴震动值可监测
11、可预设多条Recipe，操作简洁；
12、选配SECS/GEM接口；
13、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
14、设备外形尺寸：L 2430mm X W 1430mm X H 2460mm
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机（Semi-auto FOUP/Cassette/POD Cleaner）
适用场景：在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
设备特点：
1、清洗对象：12寸 FOUP
2、设备主要构成：清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力：24只 FOUP/小时（依配置的清洗腔中真空腔数量而定）
4、干进干出；
5、可与AMHS对接、可人工上料；
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗；
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可预设多条Recipe,操作简洁；
9、选配SECS/GEM接口；
10、实时记录生产数据，多种数据分析功能；
11、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
12、设备外形尺寸：L 4000mm X W 3600mm X H 3300mm
适用场景：用于烘干各种设备上的清洗后的零部件
设备特点：
1、干燥箱的工作室采用不锈钢材料，外壳采用优质的冷轧钢板制作，中间填充环保的硅酸铝纤维棉，外壳表面为镜面不锈钢，经久耐用。
2、采用高效节能的加热器，合理的鼓风系统，完善的控制系统，使得工作室的温度更加均匀。
3、采用双数显温度控制仪，醒目直观，PID控温精确，无温冲现象。
设备特点：
1、干燥箱的工作室采用不锈钢材料，外壳采用优质的冷轧钢板制作，中间填充环保的硅酸铝纤维棉，外壳表面为镜面不锈钢，经久耐用。
2、采用高效节能的加热器，合理的鼓风系统，完善的控制系统，使得工作室的温度更加均匀。
3、采用双数显温度控制仪，醒目直观，PID控温精确，无温冲现象。
适用场景：用于烘干石英炉管
设备特点：
1、干燥箱的工作室采用不锈钢材料，外壳采用优质的冷轧钢板制作，中间填充环保的硅酸铝纤维棉，外壳表面为镜面不锈钢，经久耐用。
2、采用高效节能的加热器，合理的鼓风系统，完善的控制系统，使得工作室的温度更加均匀。
3、采用双数显温度控制仪，醒目直观，PID控温精确，无温冲现象。
设备特点：
1、干燥箱的工作室采用不锈钢材料，外壳采用优质的冷轧钢板制作，中间填充环保的硅酸铝纤维棉，外壳表面为镜面不锈钢，经久耐用。
2、采用高效节能的加热器，合理的鼓风系统，完善的控制系统，使得工作室的温度更加均匀。
3、采用双数显温度控制仪，醒目直观，PID控温精确，无温冲现象。
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